Edwards公司宣布推出全新iXL250Q和iXL750Q干泵
- 2012/8/17 9:44:532926
这些性能的真空泵设计用于使基底产出率大化，同时使功率、占位面积和重量降到低。另外，在检修间隔期间无需维护。所有的真空泵均具备“绿色”工作模式，能够在待机期间以更低的功率运行，从而有很大的潜力来降低运营成本。
Edwards公司FPD干泵产品经理AllisterWatson博士称：“把总体拥有成本降至低是Edwards与客户共同的优先考虑事项。我们注重引导客户根据其要求来选择的设备。新型iXL干泵进一步扩展了我们的产品组合，因而我们能够为客户提供效率尽可能高的方法，以低的成本实现优化的性能。”
特定体积工艺室的抽空时间主要取决于泵在接近大气压力时的可用抽速。正如产品名称所提示，iXL250Q、iXL500Q和iXL750Q在大气压力附近提供大约250m3/h、500m3/h和750m3/h的抽速。iXL250Q目标是较小的工艺室，它们用于较早一代FPD（例如第四代）制造，而iXL500Q和iXL750Q则更适合较大的工艺室，可在第八代和第十代FPD制造中使用。