Edwards集团推出全新集成式真空泵IPUP2
- 2013/7/18 8:44:204060
BF35导读：Edwards集团有限公司已经推出了针对应用材料公司制造平台的加载互锁和输送腔体应用的全新集成式真空泵IPUP2。该第二代泵在加载互锁抽真空时间、能耗和维护要求方面具有明显优势，这些先进性能结合起来为其带来同类佳的性能和拥有成本。该泵已经获得初步成功，在应用材料公司的多类新设备平台上取得了使用认证，并且已经向主要半导体制造商提供超过180套系统。
IPUP2是为满足应用材料公司的加载互锁和输送腔体抽真空规格而设计。IPUP2的抽气速率和功率曲线得到了优化，以增加机台产出能力，大抽速可达180m3/h，与代相比快89%，抽真空时间缩短54%，同时能耗节约70%（使用“绿色模式”还可进一步节能）。
该泵中采用的精密轴承确保运行平稳、低震动，机油润滑的轴承和定时齿轮使得大修之间无需常规维护。IPUP2包括水平和垂直进气口，其尺寸和配置能够与前一代泵直接互换。在测试中该泵的得分很高，平均故障间隔（SemiE10标准的MTBF）为5年，可实现超过300万次加载互锁工作循环。
IPUP2先进的设计减少抽真空时间50%左右，能耗节约70%，在大修间隔期免维护。很多半导体制造厂商，甚至那些与我们竞争对手长期合作的制造厂商，很快通过这些订单认识到了IPUP2的抽气能力和拥有成本优势。