【图说新闻】泵阀行业一周看点（2.17-2.21）
- 2014/2/21 13:37:457906
涡轮分子泵
Edwards有限公司日前推出了其STP-iXA4506大容量涡轮分子泵(TMP)。这款产品旨在为半导体、平板显示器、LED和太阳能电池板制造商节省更多成本。
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这款涡轮泵的高抽速度(4300l/sN2)和高流量(高达4300sccmN2)结合其有效抽吸轻气体和重气体的能力，使STP-iXA4506非常适用于许多不同的大流量、高流动性应用，包括半导体蚀刻、LCD蚀刻、玻璃镀膜、太阳能PVD和PVD镀膜。其高度集成的设计包括一个完全密封的电子模组，以在严苛的工厂环境中实现稳健、可靠的操作。需要时还可增加一套加热系统，以减少来自工艺过程中副产物的沉积物和微粒的堆积。