直线电机平台(气浮亚微米级精度)
产品简介
本公司是具有多年从事直线电机平台系统研制、生产的*。公司产品包括无槽、有铁芯、无铁芯直线电机、圆筒、步进直线电机、力矩电机、精密运动平台等系列产品,广泛应用于半导体制造、精密机床制造、自动化物流输运、激光切割、激光雕刻、玻璃磨边PCB加工、精密检测、纺织及*等设备中。得到客户广泛认可和*好评。
详细信息
本公司是具有多年从事直线电机平台系统研制、生产的*。公司产品包括无槽、有铁芯、无铁芯直线电机、圆筒、步进直线电机、力矩电机、精密运动平台等系列产品,广泛应用于半导体制造、精密机床制造、自动化物流输运、激光切割、激光雕刻、玻璃磨边PCB加工、精密检测、纺织及*等设备中。得到客户广泛认可和*好评。
■直线电机平台特点:
直线电机结构紧凑、功率损耗小、快移速度高、加速度高、结构简单,定位精度高、反应速度快、灵敏度高,随动性好、工作安全可靠、寿命长、运动噪声低等优点。
◆公司平台按照精度分类可分为:1、纳米级定位平台(1-50纳米) 2、高精度定位平台(0.5-1微米)3、普通定位平台(1-5微米) 4、低精度定位平台(大于5微米)
◆按照复杂程度可以分为: 一维平台、二维平台、三维平台、四维平台、多维平台
◆按材料分1、气浮平台 2、硬铝合金平台 3、铝型材平台3、大理石平台4、钛合金平台
●有铁心直线电机
§ 结构
直线电机+双导轨滑块
§ 精度
直线度≤
定位精度≤
重复定位精度≤
§ 速度
● 无铁心直线电机
§ 结构
直线电机+双导轨滑块+光栅读数头
§ 精度
直线度≤
定位精度≤
重复定位精度≤
§ 速度
● 管式直线电机
- 结构
直线电机+单导轨滑块+光栅读数头
- 精度
直线度≤
定位精度≤
重复定位精度≤
- 速度
● 二维气浮直线电机平台
行程:X轴
定位精度:X轴-1um Y轴-1um;
重复定位精度:X轴-0.5um Y轴-0.5um
分辨率:10nm
速度:
● 三维龙门式直线电机平台
本公司承接各种非标平台研发、生产,同时提供电气控制系统的整套方案和
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