ALICAT 23系列带集成截止阀气体质量流量控制器
产品简介
详细信息
Alicat的23系列质量流量控制器是根据真空涂层和喷溅过程中所要求快速关闭功能而设计的。一个启动截止阀是常闭的，并且保证一个大气压下氦气zui大泄露为1 x 10-9下有效的关闭。
23系列质量流量控制器采用的是与其他alicat产品一样的层流差压式技术。在速度和精度需要计算时，23系列所体现的*的精度和响应时间。
Alicat 的23系列可以在响应时间为50-100ms的条件下控制从0.5sccm的小流量到20slpm的大流量-响应时间可以大大的改良你的zui终产品，并且帮助排除误差。
每个23系列都是预先设定的30种校准气体和显示质量流量、体积流量、绝压和温度。Alicat的23系列也可以直接通过设备的按键或者RS-232来编程设定，使用RS-232可以通过一对线串联zui多26台设备。
23系列供电电压为12-30Vdc，单一输入和输出暴漏0-5Vdc。0-10Vdc、4-20mA和RS-232（可选PROFIBUS）
特点和优点
· 响应时间50-100ms
· 量程 0.5sccm-20slpm
· 模拟和数字通信（可选PROFIBUS）
· 30种预设定校准气体
· 精度±0.8% 的读数±0.2% 满刻度
· 可选高精度±0.4% 的读数±0.2% 满刻度
· 操作量程1%-*
· 数字显示质量流量、体积流量、绝压和温度
· 无预热时间
· 小巧设计，方便替换其他设备
· 保证标准大气压下氦气zui大泄露1 x 10-9的气动截止阀
· 终身维修