爱德华STP301 爱德华STP301真空泵
产品简介
此 STP 泵在供货时带有入口筛网。
详细信息
应用
· 金属（铝）、钨和电介质（氧化物）以及多晶硅等离子刻蚀（氯化物、氟化物和溴化物）
· 电子回旋共振 （ECR） 刻蚀
· 薄膜沉积 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
· 溅射
· 离子注入源，射束线泵送端点站
· MBE
· 扩散
· 光致抗蚀剂脱模
· 晶体/晶膜生长
· 晶片检查
· 负载锁真空腔
· 科学仪器：表面分析、质谱分析、电子显微镜
· 高能物理：射束线、加速器
· 放射线应用：融合系统、回旋
功能和优势
*的转子技术
· zui大的制程灵活性
· 无油
· 低振动
· 高度可靠
· 免维护
*的控制器设计
· 自动调整
· 自行诊断功能
· 直流电机驱动
· 无电池运行
紧凑型设计
· 占地面积小
· 半机架控制器
技术参数
| 入口法兰 | ISO100，CF100 |
| 出口 | KF25 |
| 抽速 | |
| N2 | 300 ls-1 |
| H2 | 300 ls-1 |
| 压缩比 | |
| N2 | >108 |
| H2 | >2 x 104 |
| 加热时的极限压力（VG/ISO 法兰） | 6.5 x 10-6 Pa （5 x 10-8 Torr） |
| 加热时的极限压力（ICF 法兰） | 10-8 Pa （10-10 Torr） |
| zui大允许进气口压力（环境空气冷却） | 0.066 Pa （5 x 10-4 Torr） |
| zui大连续出口压力（环境空气冷却） | 13 Pa （0.1 Torr） |
| 额定速度 | 48000 rpm |
| 启动时间 | 3 min |
| zui高入口法兰温度 | 120 °C |
| 输入电压 | 100 至 120 （± 10%） V 交流或 |
| 200 至 240 （± 10%） V 交流 | |
| 启动时的功耗 | 0.55 kVA |
| 泵重量 | 11 kg |
| 控制器重量 | 7 kg |