在化工行业中，传统的真空泵技术，诸如液环泵、蒸汽喷射器、直流式油封泵以及它们的组合，一 直被认为是环境污染的源头，也会对工艺介质产生污染。蒸汽喷射器和液环泵都产生被工艺介质污染的水（或油），通常该水需经处理后才能排放；直流式油封泵产生被污染的油，这些油需要后续的废液处理或焚烧。而且在传统的真空泵中，泵中的压缩空间是 “湿式”环境，正是腐蚀产生的理想条件。因此，蒸汽喷射器和液环泵需要在很宽的范围内选择制造材料，包括不锈钢、哈氏合金，甚至石墨和陶瓷。
       近年来，随着石化行业装备水平的提高以及各国对环保越来越严格的要求，逐渐用干式真空系统取代了传统的湿式系统。干式无油抽真空系统同工艺蒸汽之间互相不污染，工艺蒸汽经干式真空泵压缩升压后可以直接去尾气处理系统，也可以经过一个真空泵出口冷凝器，将气体回收。