（ZX20120626）由于仪器调试的需要，我们选用精密减压阀和可调速微型泵组成了供气装置。现将各部分介绍如下。

    普通减压阀不能满足提供稳定气源压力的要求，我们选用的精密减压阀输出压力的波动可以小于zui大输出压力的1%。精密减压阀具有很高的调压精度是由于其特殊的结构和制造精度。精密减压阀由三部分组成：起直动减压阀作用的主阀部分、起放大作用的包括固定阻尼孔和喷嘴-挡板元件的整个控制半桥、控制半桥进口压力稳定器。它比内部先导型减压阀增加了稳定控制半桥进口压力的装置。当输入的气源压力上升时，控制半桥进口压力稳定器内部的气室压力上升，会使膜片上移，稳定阀口的开度减小，导致节流作用增加，使气室压力回降而保持不变，实现控制半桥进口压力的稳定，控制主阀膜片和阀芯上的平衡力，使输出压力更加稳定。

    在气泵的选择上，经过比较我们选择了市场上的“气海”FAY微型可调速泵。FAY可调速泵已经使用一年多时间，性能稳定，噪声也小，好于曾经用过的国产泵。可调速泵配置进口无刷电机，杜绝了以前配置的有刷电机的高压杂波，解决了泵对控制电路的干扰问题。自带PWM（脉宽调制）线，能方便可靠地调节流量，能量效率高，克服了原来有刷电机降压调速的缺点。能输出电机转速信号，实现了对泵工况的实时监控，发生问题能及时报警，使用更加安全。该泵属于体积泵，结构特点决定了流量具有一定波动性，咨询厂家后安装了大小合适的缓冲罐。精密减压阀和可调速微型泵的组合使流量和压力*达到了平稳的要求。