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代理商厂商性质
上海市所在地
| 入口法兰 | DN63ISO-K、DN63CF、DN40NW 或 DN100ISO-K |
| 抽速 ISO63/63CF （DN40NW）（ISO100） | |
| N2 | 61 ls-1 （42 ls-1） （66 ls-1） |
| He | 57 ls-1 （49 ls-1） （59 ls-1） |
| H2 | 53 ls-1 （48 ls-1） （54 ls-1） |
| 压缩比 | |
| N2 | >1 × 1011 |
| He | 1 x 106 |
| H2 | 5 x 104 |
| 极限压力 （mbar） | |
| 带有 RV 前级泵 ISO/CF | <5 x 10-9 / 5 x 10-10 |
| 带有隔膜前级泵 ISO/CF | <5 x 10-8 / 5 x 10-9 |
| 出口法兰 | DN16NW |
| *前级泵* | RV5/nXDS5i |
| 排气口 | 1/8 英寸 BSP |
| 吹扫口 | 1/8 英寸 BSP |
| zui大连续进气口压力（轻气体泵送）† | |
| 水冷却（15 °C 水，40 °C 环境温度） | 2 × 10-2 mbar |
| 强制空气冷却，35°C 环境温度 | 1 × 10-2 mbar |
| 泵旋转速度 | |
| 标称旋转速度 | 90000 rpm |
| 待机旋转速度 | 在 49500 至 90000 rpm 之间变化 （63000 rpm 默认） |
| 可编程功率限制设置 | 可在 50 至 120 W 之间变化（默认为 80 W） |
| 到 90% 速度的启动时间 | 110 s ‡ |
| 模拟输出 | 转速； 功耗；泵温度；控制器温度 |
| 冷却方法# | 强制空气/水 |
| 强制空气冷却的环境空气温度 | 5 - 35 °C |
| zui小冷却水流速（15 °C 的水） | 15 l h-1 |
| 水温范围 | 10 - 20 °C |
| zui高入口法兰温度 | 100 °C |
| 操作姿态 | 垂直且竖直，直到 水平 |
| 1 米处的噪音级别 | <50 dB（A） |
| 泵可以承受的zui大磁场 | 5 mT |
| *控制器 | TIC100 分子泵和仪器控制器 |
| 静止电功率 | 10 W |
