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上海市所在地
入口法兰 | DN100ISO-K,DN100CF |
出口法兰 | DN25NW |
抽速 | |
N2 | 300 ls-1 |
He | 340 ls-1 |
H2 | 280 ls-1 |
压缩比 | |
N2 | >1 × 1011 |
He | 1 x 106 |
H2 | 5 x 104 |
针对 RV 前级泵 ISO/CF 的极限压力 | <6 x 10-8/<5 x 10-10 mbar |
*前级泵* | RV12/nXDS10i |
排气口 | 1/8 英寸 BSP 母头 |
吹扫口 | 1/8 英寸 BSP 母头 |
zui大连续入口流量(氮气)† | |
水冷却(15°C 的水,40°C 的环境温度) | 95 sccm |
强制空气冷却,35°C 环境温度 | 115 sccm |
泵旋转速度 | |
标称旋转速度 | 60000 rpm |
待机旋转速度 | 可在 33000 至 60000 rpm 之间变化(默认为 42000 rpm) |
可编程功率限制设置 | 可在 50 至 200W 之间变化(默认为 160W) |
到 90% 速度的启动时间 | 145s‡ |
模拟输出 | 泵旋转速度; 功耗;泵温度;控制器温度 |
冷却方法# | 强制空气/水 |
强制空气冷却的环境空气温度 | 5 - 35°C |
zui小冷却水流速(15°C 的水) | 15 l h-1 |
水温范围 | 10 - 20°C |
zui高入口法兰温度 | 80°C |
操作姿态 | 垂直且竖直,直到 水平 +/- 2° |
1 米处的噪音级别 | <45 dB(A) |
泵可以承受的zui大磁场 | 5 mT |
*控制器 | TIC200 分子泵和仪器控制器 |
静止电功率 | 通常为 20W |