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上海市所在地
| 入口法兰 | ISO100，CF100 |
| 出口 | KF25 |
| 抽速 | |
| N2 | 300 ls-1 |
| H2 | 300 ls-1 |
| 压缩比 | |
| N2 | >108 |
| H2 | >2 x 104 |
| 加热时的极限压力（VG/ISO 法兰） | 6.5 x 10-6 Pa （5 x 10-8 Torr） |
| 加热时的极限压力（ICF 法兰） | 10-8 Pa （10-10 Torr） |
| zui大允许进气口压力（环境空气冷却） | 0.066 Pa （5 x 10-4 Torr） |
| zui大连续出口压力（环境空气冷却） | 13 Pa （0.1 Torr） |
| 额定速度 | 48000 rpm |
| 启动时间 | 3 min |
| zui高入口法兰温度 | 120 °C |
| 输入电压 | 100 至 120 （± 10%） V 交流或 |
| 200 至 240 （± 10%） V 交流 | |
| 启动时的功耗 | 0.55 kVA |
| 泵重量 | 11 kg |
| 控制器重量 | 7 kg |
