STP603-爱德华EDWARDS STP603真空泵-上海万库真空设备有限公司手机版

详细介绍

概述

Edwards STP603 是新型的涡轮分子泵，可用于的半导体应用。Edwards 的转子技术可实现*的性能，zui大的制程灵活性。这种泵已经由半导体和磁介质行业的大型设备制造商投入使用，并得到了认可。

应用

· 金属（铝）、钨和电介质（氧化物）以及多晶硅等离子刻蚀（氯化物、氟化物和溴化物）

· 电子回旋共振（ECR）刻蚀

· 薄膜沉积 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD

· 溅射

· 离子注入源，射束线泵送端点站

· MBE

· 扩散

· 光致抗蚀剂脱模

· 晶体/晶膜生长

· 晶片检查

· 负载锁真空腔

· 科学仪器：表面分析、质谱分析、电子显微镜

· 高能物理：射束线、加速器

· 放射线应用：融合系统、回旋

功能和优势

*的转子技术

· zui大的制程灵活性

· 无油

· 低振动

· 高度可靠

· 免维护

*的控制器设计

· 自动调整

· 自行诊断功能

· 直流电机驱动

· 无电池运行

紧凑型设计

· 占地面积小

· 半机架控制器

技术数据