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GM系列高真空隔膜阀
一、高真空隔膜阀主要技术规范
| 适用范围Pa | 105～1.3×10ˉ4 |
| 漏率Pa.L/S | 6.7×10ˉ4 |
| 介质温度℃ | 隔膜为丁腈橡胶时-25～+80 |
| 隔膜为氟橡胶时-30～+150 |
二、高真空隔膜阀技术规范
| 零件名称 | 材料 |
| 阀体 | 碳钢、不锈钢 |
| 隔膜 | 丁腈橡胶、氟胶 |
| 阀杆 | 不锈钢 |
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