目前真空技术所涉及的压力范围为105Pa~10-13Pa，这样宽的压力范围是任何一种获得真空的设备—真空泵都不能单独实现的，因而需要用不同结构的真空泵来实现。按工作原理分述几类真空泵。 

利用转动或滑动等机械运动获得真空的泵叫机械真空泵，其可分为以下几种: 

 

（1）往复真空泵。它是借泵腔内活塞往复运动，将气体压缩并排出的容变真空泵溶洞。极限真空度:单级约达103Pa;双级约达10Pa。抽气速率为45m3/h~20000m3/h. 

 

（2）水环真空泵。它是利用水环旋转变容的真空泵。极限真空度:单级约达103Pa;双级约达102Pa。抽气速率0.25m3/h~500m3/h。 

 

（3）油封旋转式真空泵。它是用油保持密封，靠旋转的偏心凸轮在缸内旋转而抽气的泵，包括定片真空泵、旋片真空泵、滑阀真空泵和余摆线真空泵。在气相沉积技术中，旋片真空泵用得很多，极限真空度约达10-1Pa（单级）和10-2Pa（双级）。抽气速率为1L/s~500L/S。另外，也有采用滑阀真空泵，极限真空度约达l0Pa（单级）和10-1Pa（双级）。抽气速率1L/S~600L/s.

 

（4）罗茨真空泵。它是泵内装有两个反向同步旋转的双叶形或多叶形转子，转子间以及转子与泵壳内壁都保持一定间隙的旋转变容真空泵。该泵在102Pa~1Pa之间有较大的抽速，*可以弥补旋转机械泵和油扩散泵在此压力范围内抽速不足的缺陷，在真空系统中起增压作用，故又称机械增压泵。其极限真空度约达10-2Pa。抽气速率为15L/s~40000L/s.罗茨泵不能单独使用，必须和前级泵串联使用。 

 

（5）涡轮分子泵。它是一种机械高真空泵，装有带槽的圆盘或带叶片的转子。转子在定子对应圆盘间旋转，线速度转动的数量级与气体分子相同，泵正常工作适于在分子流状态下。极限真空度约达10-8Pa或更高，抽气速率一般在5000L/s以下。

 

以上的就是机械真空泵的一些分类，机械真空泵的工作特点比较的突出，而且zui主要的分类也有这五种。而且这是按照它的工作原理来分的，所以，在购买的时候分得也比较的清楚，当然了，买的时候也要看它的运行成本，毕竟用泵是很费钱的。

 

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