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F.S.量程 (N2换算) | 10SCCM-20SLM(30SLM-100SLM) | |
阀门种类 | 常闭电磁阀 | |
控制范围 应答性 精度 重复性 | 2%-*F.S.(5%-*F.S.) | |
设定±2%F.S.至2秒以内(标准) | ||
±1.5%F.S.以内(±2%F.S.以内) | ||
±0.5%F.S.以内 | ||
压力 | 耐压 | 980kPa |
操作 差压 | F.S.≤5SLM 49kPa-294kPa; 5<F.S.≤20SLM 95kPa-294kPa | |
温度 | 使用温度 | 5°C-45°C |
连接气体 部分材料 | SUS316、氟橡胶、 氯丁橡胶(选购件) | |
电力连接 | Dsub9个引脚公玡 KFC/SEMI 标准 | |
输入流量信号 | 0-5VDC | |
输出流量信号 | 0-5VDC | |
需求电源供给 | +15VDC(±5%)100mA-15VDC(±5%)200mA |