溅射离子泵抽气系统的操作工艺及注意事项
时间：2011-03-10 阅读：2489
如果系统中有钛升华泵，则在真空室压力约为0.5Pa时就可以启动升华泵，开始连续升华，打开高真空阀门对真空室抽气，当真空室压力达到0.1～0.05Pa时便可启动溅射离子泵，然后关闭粗抽阀门，将粗抽管道与系统隔开。当系统压力低于10-5Pa时，则可让钛升华泵间断工作，随着系统压力的下降，蒸钛的间隔时间可以一次比一次加长。可使用定时电路来控制钛升华时间和升华的间隔时间。
如果在系统运行前，溅射离子泵曾暴露过大气，则系统的操作顺序是先冷却吸附泵，并接通钛升华泵的冷却水，同时打开高真空阀和粗抽阀，按前面介绍过的顺序，用吸附泵和钛升华泵对系统进行粗抽。当接通溅射离子泵电源时，由于泵内电极的出气，系统的压力将会升高，所以此时仍需用吸附泵和钛升华泵进行抽气，直到把放出的气体负荷抽完为止。当系统压力稳定在0.1Pa左右时，即可关闭粗抽管路阀门，进而按正常方式连续工作。
离子泵系统停机前，先将高真空阀关闭，再把离子泵电源关掉，整个系统可保持在真空状态下，直到下次再用。
操作注意事项
（1）溅射离子泵应在低于10-4Pa的压力下稳态运转。
（2）不要在系统压力高于10-1Pa时启动溅射离子泵。
（3）不要让离子泵在较高压力下抽除大量氦气。
（4）真空室放大气时，应用阀门将溅射离子泵隔断。
（5）应按正确顺序操作吸附泵。