1/4BA气瓶架(Rack)
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西安市西能光伏科技有限公司
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特气柜(Gas Cabinet),气体流量控制箱(Gas Box by MFC),气瓶架(Rack)、阀门箱(VMB),阀门盘(VMP),
主要应用于:半导体,太阳能电池,微电子等需要超纯洁净气体的行业。
主用用于为PECVD,MOCVD等设备提供洁净,安全的气体。
有单瓶柜,双瓶柜,控制有全自动,半自动,手动型
内部管路采用韩国TK生产的BA/EP级洁净VCR接头,阀门,具有美观,紧凑,安全,质优价廉等特点;国内备有大量库存。
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