油扩散泵的常见故障及原因
时间:2013-11-14 阅读:200
由于真空设备长期运转及其它一些因素的影响,扩散泵的性能可能会逐渐变坏,现将使用中经常出现的一些问题如述如下; 1) 极限真空变低 2) 抽气较慢 3) 进口压力波动 4) 工作腔污染大 5) 返油率过大: |
时间:2013-11-14 阅读:200
由于真空设备长期运转及其它一些因素的影响,扩散泵的性能可能会逐渐变坏,现将使用中经常出现的一些问题如述如下; 1) 极限真空变低 2) 抽气较慢 3) 进口压力波动 4) 工作腔污染大 5) 返油率过大: |