真空泵油使用注意事项：
①真空设备用油在密封条件下保质期可以达到三年;
②油品应存放阴凉干燥处;
③油桶打开使用后，剩余的油应盖好密封盖。同时尽快用完剩余的部分，切勿混入其他粉末和液体杂质;
④环境工具应保持干净，若用溶剂清洗后应烘干使用;
⑤根据真空泵的结构精度和使用环境，应选用相应精度品质的油品。
真空泵换油方法：
将泵从系统上拆下，用干净的方盘接在放油孔下。旋下注油塞和放油塞，放出污油。断续启动电机4~6使各真空小室内的油全部排出。然后从各抽气管加入干净的真空泵油200~300CC断续启动电动机，再次清洗各真空室。这样经2~3次重复清洗，放光清洗用油，旋上放油塞。从注油塞处加入干净的真空泵油到视窗口的中心位置，旋紧注油塞不使漏气。
换油在油温升高后进行。对泵严禁用煤油、汽油、酒精等作非拆的清洗。平时也要注意保护进气口，检查滤网，防止灰尘、杂质进入泵内，弄污泵油，损坏真空室。
真空泵换油后产生问题排除方法：
①泵出气口有喷油现象：
油加的过多，减少油的加入量;
进气口长时间抽大气，应加以避免;
②泵出气口有雾现象：
检查进气口及其他部分是否有漏气
③真空度偏低：
泵腔内及油中是否混入其他轻质液体，新换油后应适当运转一段时间
检查泵各密封部分是否有漏气现象
校对好检测仪表
扩散泵、油增压泵换油注意事项：
①选用品质好的油品;
②换油时应全部倒出旧油;
③用溶剂汽油或清洗剂清洗泵内全部零件，并用丙酮或乙谜擦干，放在烤箱中烘干，也可用吹风机吹干;
④按原来部位安装好泵内外零件，喷嘴应在泵腔中部;
⑤操作者应手戴白纱脱脂手套装配，按要求量倒入扩散泵油或增压泵油;
扩散泵使用中产生的问题及排除方法：
①真空度偏低：
检查前级真空;
检查冷却水是否畅通，水温是否偏高;
冷却水管有没有部分堵塞;
电炉丝功率偏大或偏小;
供电电压是否偏低;
各喷油嘴装配不正确;
规管测量不准确;
仪表或导线不正常;
真空系统是否漏气;
工作室经长期使用残留镀层是否太厚;
②由操作不当引起的油品很快氧化，即变红或变黑：
检查工作是否忘记打开冷水;
真空系统存在较严重漏气;
扩散泵在工作时大气进入了扩散泵内;
工作室内有可挥发气体或灰尘进入泵腔内。