PECVD燃烧水洗式-韩国MAT尾气处理设备-西安西能光伏科技有限公司手机版

详细介绍

韩国MAT尾气处理设备（Scrubber）

PECVD燃烧水洗式尾气处理设备适用于：太阳能光伏、半导体、微电子等行业中多余的危害性气体。处理的气体包括：SiH4、SiH2Cl2、PH3、B2H6、TEOS、H2、CO、NF3、SF6、C2F6、WF6、NH3、N2O 等。

主要优点有：

1. 整机设计美观, 安全标准。

2．拥有处理量特大﹑效率高﹑及长时间运转。

3．操作容易上手、保养简单快速、零料件经久耐用，性价比高

4．燃烧反应室可定时自动清洁, 长时间运转效率稳定。