气体质量流量控制器因有控制器精度高，重复性好，反应速度快。它适合半导体，CVD，扩散，真空镀膜，色谱、光纤熔炼，分析仪器，燃料电池，液晶屏，有机EL,生物工程，等离子蚀刻，环境测试，燃烧气体控制，试验设备，焊接，微反应装置、配气和混气系统等各个环节、各个制造过程中的流量控制。他所用的传感器是热式流量传感器，热式质量流量计是利用传热原理，即流动中的流体与热源（流体中加热的物体或测量管外加热体）之间热量交换关系来测量流量的仪表。

工作原理
流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理气体的质量流量（无需温度压力补偿）。将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大，放大后的流量检测电压与设定电压/电流进行比较，再将差值信号放大后去控制调节阀门，闭环控制流过通道的流量使用之与设定的流量相等。分流器决定主通道的流量。控制器输出的流量栓检测电压/电流与流过通道的质量成正比，满量程（F.S）流量检测输出电为＋5V或20MA。气体质量流量控制器的流量控制范围是（2~100）％F.S （ 程比为50:1 ），流量分辨率是0.1％ F.S。

品牌：日本KOFLOC（创立于1949年）,气体质量流量控制器
型号：3660系列、8500系列、HFC-303系列、3810DS系列
类型：MFC气体质量流量控制器/质量流量计
控制范围：0.02ML—1000L/MIN
精度等级：0.2%FS—1.5%FS
响应速度：0.5-1秒
适用介质：所有气体（含腐蚀和有毒气体）
模拟信号：0-5V、4-20MA（可选）
气路连接：1/2;1/4;1/8;3/8卡套、RC1/2;1/4、1/4;3/8VCR
工作压差：2KPA—300KPA（同行业中可做到的zui小压差）
气路材质：SUS316
通信接口：RS-485、RS-232
产品气密：1×10-11Pa·m3/s 或 1×10-8Pa·m3/s
耐压：1.0Mpa（常压）、3.4-6.8MPa（高压大流量）
电压：24V、±15V

特点：
1：另外配有LED数字显示，产品面板上有可调节各种功能的按钮，极其容易操作（另有分体式可选择，显示操作部分和控制器部分可分离）
2：气体质量流量控制器也可配置手动旋钮式调节针阀，从而来时时调节流量大小（3810DS系列—低价格）
3：气体质量流量控制器采用直接质量流量测量，因此实现了不受温度、压力变动影响的精确测量
4：气体质量流量控制器配有RS-485/232接口，能于其他外部设备实现通讯
5：气体质量流量控制器装备自动调零功能，内装微处理器，达到高功能化
6：高分辨能力（14位以上），通过采用AD、DA，能够达到高精度应对
7：气体质量流量控制器能够设定装置编号；通过CF值应对气体种类

KOFLOC还有《浮子流量计/控制器》、《比例电磁阀》、《精密针阀》等等...
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黄工 （7*24小时可）
huangyong0519

（气体混合用）