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CMS流量计系列山武CMS气体质量流量计（用于氢气和氦气）

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CMS是一种高可靠性气体质量流量计，使用了山武公司开发的微流量µF传感单元，该传感器是一个感热式的质量流量传感器，可以测量极低流速的流体流量，微流量传感器芯片和*的流路设计技术的结合使该仪表测量精度高、量程比大，且成本低。

CMS是一种高可靠性气体质量流量计，使用了山武公司开发的微流量μF传感单元，该传感器是一个感热式的质量流量传感器，可以测量极低流速的流体流量，微流量传感器芯片和*的流路设计技术的结合使该仪表测量精度高、量程比大，且成本低。

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