真空阀门的概述

真空技术在我国国民经济中已近获得广泛的应用，无论是重工业还是轻工业，科学还是一些普通工业部门都离不开它。因此，作为真空技术执行元件的真空阀门也得到了相应的发展。

“真空”是指在空间内低于环境大气压力的气体状态，也就是该空间内气体分子数密度低于该地区大气压的气体分子数密度。不同的真空状态，就意昧着该空间具有不同的分子数密度。在标准状态 （STP:即0℃，10135Pa)下，气体的分子数密度为 2.6870X10²⁵m^-3，而在真空度为lXl0-⁴Pa时，气体的分子数密度只有2. 65X l0¹⁶m^-3。

真空度及测量单位 ：在真空技术中常用真空度来度量真空状态下空间气体的稀薄程度。通常真空度用气体的压力值来表示。压力值越高，真空度越低；压力值越低，真空度越高。

真空区域的划分：为使用上便利起见，人们常把真空度粗划为几个区段，按照GB/T 3163—2007，真空区域大致划分如下：

| 低真空 10⁵?10²Pa

中真空10²?lO^-1Pa

高真空10^-1?10 ^-5Pa

超高真空<l0^-5Pa

真空阀门的特性：主要是指真空阀门外壳对大气的真空密封性，衡量真空密封性的性能主要有两个技术指标，即真空阀门的流导和真空阀门的阀座漏气率（简称漏率)。

①真空阀门的流导在阀门打开状态下的气体流动的流导。需要指出的是，在样本中，真空阀门的流导通常以“当量管长度”列出，这里设管的公称尺寸与阀门的公称尺寸相同。

②真空阀门的阀座漏气率在关闭状态下由阀座漏入的气体流率。它取决于气体种类、压力、温度和阀门进、出口的压差。

真空阀门的定义和作用：真空阀门是在真空系统中用来隔离（切断）气 流、调节气流流量、分配气流的真空元件。种类繁多的真空装置（亦称真空工程设备）都离不开真空系统。真空阀门不论在简单或复杂的真空系统中都占有重要的地位。通常在真空系统设计时，要根据真空装置的要求和真空系统的特点来选择不同类型的真空阀门。例如，真空放气阀，是用来给真空系统放入大气用的。真空装置完成真空作业后，若要更换工件或取出样品，必须将大气放入真空室，使真空室大门两侧没有压差，才能打开大门进行工件更换。而针阀是向真空系统中充气，并能调节气体流量的真空阀门。它常用于真空泵抽速测量、真空镀膜、离子束刻蚀、受控热核反应装置等真空系统上，提供调节的气体流量，用以获得稳定的工艺要求的真空度：高真空挡板阀、高真空插板阀，常用于主抽气泵的进气口上， 用来隔离真空泵，使之不暴露于大气之中。高真空蝶阀可装于真空室，真空管道与真空泵之间，用以接通和隔离（截止）气流。阀门设计不应当漏气、发生机械、电气故障等。

需要纠正一下国内电站阀门存在的错误叫法，在电站阀门中，通常将填料部分带水封装置的阀门前面冠以“真空”，如真空闸阀、真空截止阀等。而事实上，这些阀门的介质压力都很髙，有的阀门压力高达 l0MPa,这是一种错误的叫法，应当予以纠正。