进口美国AIRTECH真空泵
 

1958年，联邦德国的W.贝克初次提出有适用价值的涡轮分子泵，以后相继呈现了各种不同构造的分子泵，主要有立式和卧式两种,图1为立式涡轮分子泵的构造图。涡轮分子泵主要由泵体、带叶片的转子(即动叶轮)、静叶轮和驱动系统等组成。动叶轮外缘的线速度高达气体分子热运动的速度(普通为150～400米/秒)。单个叶轮的紧缩比很小，涡轮分子泵要由十多个动叶轮和静叶轮组成。动叶轮和静叶轮交替排列。动、静叶轮几何尺寸根本相同,但叶片倾斜角相反。图2为20个动叶轮组成的整体式转子。每两个动叶轮之间装一个静叶轮。静叶轮外缘用环固定并使动、静叶轮间坚持1毫米左右的间隙,动叶轮可在静叶轮间自在旋转。

在运动叶片两侧的气体分子呈漫散射。在叶轮左侧，当气体分子抵达A点左近时，在角度α1内反射的气体分子回到左侧；在角度β1内反射的气体分子一局部回到左侧，另一局部穿过叶片抵达右侧；在角度γ1内反射的气体分子将直接穿过叶片抵达右侧。同理，在叶轮右侧(图3b),当气体分子入射到B点左近时，在α2角度内反射的气体分子将返回右侧；在β2角度内反射的气体分子一局部抵达左侧，另一局部返回右侧；在γ2角度内反射的气体分子穿过叶片抵达左侧。倾斜叶片的运动使气体分子从左侧穿过叶片抵达右侧，比从右侧穿过叶片抵达左侧的几率大得多。叶轮连续旋转，气体分子便不时地由左侧流向右侧，从而产生抽气作用。

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UN-45VH UN-45VH-2 UN-90V UN-90V-2 UN-120V UN-120V-2

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UN-V1 UN-V1-6 UN-1 UN-1-6 UN-2 UN-2-12

UN-V3N-6 UN-V3N-12 UN-V4 UN-V4-12 UN-V6

UN-17V UN-16V UN-18V UN-10 UN-10-2

UN-15N UN-15N-2 UN-24Z UN-25N UN-25N-2

UN-36Z UN-50D UN-50F UN-25D UN-25F

JP-40C JP-90C JP-120C JP-140C JP-180C JP-200C

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DV-3V DV-4V DV-5V DV-7V DV-8V DP-90V(LS)

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