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上海市所在地
性能/参数 | BASIS系列质量流量控制器-OEM |
流量范围 | 0-100SCCM、1000SCCM、20SLPM、50SLPM |
标定气体 | 内置7条气体可选择 |
精度(调零后) | ±(1.5%Rd+0.5%FS) |
重复性 | ±0.5%Rd |
漂移(零点/满量程) | 0.02% F.S/ºC/Atm |
工作范围 | 1-* |
响应时间 | 100毫秒(调整) |
启动预热时间 | 1秒内 |
标准工况 | 25ºC & 14.696 psia |
工作温度范围 | 0~-50℃(另有高温订制品) |
工作湿度范围 | 0-90%RH(非冷凝) |
耐压 | 10Bar |
进口工作压力 | 4Bar内 |
安装方向 | 任意 |
阀门状态 | 常闭 |
材质 | SUS不锈钢、密封圈VITON |
数字信号 | RS485(ACSII、MODBUS-RTU) |
模拟信号 | 标准0-5V 选配:4-20mA |
电气接口 | 标准DB9 |
供电电压 | +24VDC，200mA |
