半导体洁净室颗粒计数器应用

半导体洁净室颗粒计数器应用

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2024-07-01 06:06:58
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产品简介

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详细介绍

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Metone3411粒子计数器,Metone3411便携式空气颗粒计数器产品介绍:

Metone3411空气粒子计数器便携式空气颗粒计数器适用于半导体洁净室监测、过程标记和颗粒故障排除等方面的应用。Metone3411具有业界的 ISO 21501 数据准确性和再现性,是业内最洁净的 0.1um 便携式空气颗粒计数器。
Metone3411粒子计数器,Metone3411便携式空气颗粒计数器

Metone3411粒子计数器,Metone3411便携式空气颗粒计数器产品优势:

1、可让您的洁净室保持洁净
0.1um级别的颗粒计数器能让排气扇点尘不染

 

2、 热插拔电池-确保仪器长时间连续运行

由于仪器使用的是热插拔电池,故无论仪器是充电还是断电、计数归零及采用备份电源时都无需停机

 

3、测试向导(Test Wizard)能使您在组织洁净室时让合规性更容易得到保证

可在监控您的半导体生产环境时节省时间并消除错误

 

4、 顺序采样系统

可用 MET ONE 3432 型顺序采样系统部署低成本的现场监控解决方案。用单台 MET ONE 3411 型空气颗粒计数器可依次从多达32个位置进行顺序采样。

 

5、灵活的通讯方式——设置简单,数据传输方便
供选择的无线,以太网和串口通讯可以将数据传输到METONE数据管理系统,或者客户已有监控软件,以便减少文书工作

 

6、直观的用户界面

简便的区域,位置和运行参数的配置和复制,节约运行时间。只需将完整的配置拷贝到一个 U 盘中,从而消除参数设置错误,并节省时间。还可以在整个颗粒计数组部署采样计划!

 

7、符合ISO 21501-4 标准的可靠性和准确性

专用于满足特殊颗粒计数要求,仪器与仪器之间的准确度和再现性*符合 ISO21501-4标准要求。


 

Metone3411粒子计数器,Metone3411便携式空气颗粒计数器产品应用领域:

专应用于半导体行业的空气颗粒计数:

- 洁净室验证监测

- 洁净室的分级

- ISO14644洁净室验证

- 洁净室颗粒物监测

- 生产过程的连续监测

- 颗粒污染源的排除过程

- HEPA过滤器检漏,粒径大小包括 0.1、0.15、0.2、0.3、0.5 和 1um

- 过滤器扫描

- 高压气体监测可简单地通过气体选择菜单选择相应气体,流量会自动调整

空气颗粒计数器生命科学标准及委员会:

- 国际标准化组织 (ISO)

- ISO14644洁净室及相关受控环境

- ISO 21501颗粒分布测确定--用于无尘空间的光散射颗粒计数器

- 环境科学与技术研究所 (IEST)

 

Metone3411粒子计数器,Metone3411便携式空气颗粒计数器产品参数:

 通道个数 6
 粒径 0.1, 0.2, 0.3, 0.5, 1.0, 5.0µ
 光源 氦氖激光器
 重量 不含电池:15.9 公斤,电池:0.66 公斤
 尺寸 33 W x 55.9 D x 22.9 H cm (宽 x 长 x 高)
 机箱材质 便于清洗的钝化不锈钢
 流速 1.0 CFM (28.3 LPM)
 零计数 ISO 21501-4 和 JIS B 9921 标准:5分钟内1颗或少于一颗, 95% 置信区间
 符合损失 在 50,000 /ft3 时,为5%,符合ISO 21501-4标准
 泵的类型 可供连续使用的的多瓣闭路循环控制泵
 计数效率 在0.1 µm时为 50%。根据ISO 21501-4和JIS B 9921,粒径大于0.15µm时为 99%
 运行温度 10 至 40°C; 相对湿度为10 至 90%,无冷凝
 显示 ¼ VGA 彩色 TFT 触摸屏
 打印机 高速热敏打印机
 语言 英语,法语,德语,意大利语,西班牙语,韩语*,日语*,中文
 可以显示的数值 9,999,999 displayed
 延迟时间 15秒钟至23小时59分59秒
 采样/停留时间 1秒钟至23小时59分59秒
 计数警报 1~ 9,999,999 个计数值
 位置 编号:0 至 999; 名称:文字描述,显示在打印输出资料上
 数据存储 5,000 个样品, 在历史数据查看页面上可以滚动(FIFO 或 Overflow)
 输出 USB 客户端 (版本为 1.1)USB 主机端 (版本为 1.1)RS485 配有TCP/IP 通讯协议的以太网配有802.11g通讯协议的无线输出 (可选)MET ONE 2432 型顺序采样系统 (警报和扫描探头)
 锂电池,可充电、可热插拔 Modbus TCP, Modbus RTU, 串行的 FX
 输入 空气速度探头,相对湿度/温度探头
 自动 CDA 清洗 连接到CDA之后,清洗电磁阀会被激活
 电源 24VDC,配有 100-240 VAC, 50/60 Hz 适配器
 电池类型 智能锂电池,可充电,可热插拔
 电池使用时间  最短 3 小时
 电池的充电时间 电池的充电时间
 包含电池数量 2组


Metone 便携式空气颗粒计数器的随附配件

 部件编号 描述
 2087966-01 等动力探头1.00 CFM,镀镍铝制3/8"倒钩接头
 960380 样品管,内径 3/8" ,长 10英尺
 2088035-01 等动力探头适配器,铝制
 970650 等动力探头三脚架
 230-300-7052 24VDC电源输出
 VP623500 电源线:115VAC, 6' L
 VP623501 电源线:115VAC, 6' L
 2087939-01 零计数过滤器 1CFM
 2087090 PortAll 软件,CD
 460519 打印纸,2卷
 280-120-2024 2组锂电池
 210-400-5171 触摸屏手写笔
 2088010-01 128M USD闪存驱动
 410-150-0011 3针微型接线端子
 410-420-0020 接线端子罩壳
 490-200-0001 无线天线,附带无线版本P / N 2088800-02


Metone3411便携式空气计数器可选配件

 部件编号 描述
 CAL_GAS_3411 3411型的气体校准,包括氦、氩、二氧化碳和氮气
 701241-01 3400系列IQ / OQ 验证文件(CD)
 2087966-02 等动力探头1.0 CFM,不锈钢制3/8"倒钩接头
 2089406-01 等动力探头支架
 460519 打印纸(价格以每卷计)
 280-300-5000 智能电源充电器
 280-120-2024 智能锂电池
 2088928 温度和相对湿度探针VAISALA HMP50
 2087939-01 零点计数过滤器(1.0 CFM型)
 460-400-4798 电缆,USB2.0 高速,1m
 2084045-02 Particle Vision PortAll, 2.0.x版,套件,下载工具软件,适配器和说明书(串行电缆需单独购买)
 700011-21 PortAll 许可标准版
 2088000-01 过滤器扫描探头(电子式)1 CFM
 2088000-02 过滤器扫描探头(无电子式)1 CFM
 2088012-02 适配器,USB转RS232,USB线缆
 2088012-01 适配器,USB转RS485,USB线缆
 2080732-8 高压扩散器,用于 1.0 CFM 设备。


                                       

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