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型号Moedl | 极限压力Ultimate pressure | 抽气速率Pumping Speed L/S | zui大允许压差 Max permissable pr essure | 进气口径 Inlet Diam mm | 出气口径 Outlet Diam mm | 电机功率 Motor Power KW | 配用前级泵 Recommended Backing Pump | 冷却水量 Cooling Water conxum ptionL/min | ||
Pa | Torr | Pa | Torr | |||||||
ZJ-70 | 5*10-2 | 3.75*10-4 | 70 | 6*103 | 45 | 80 | 50 | 1.1 | 2x-8 2x-15 | |
ZJ-150 | 5*10-2 | 3.75*10-4 | 150 | 6*103 | 45 | 100 | 80 | 2.2 | 2x-15 2x-30 | |
ZJ-300 | 5*102 | 3.75*10-4 | 300 | 5*103 | 40 | 160 | 100 | 4 | 2x-30 2x-70 | |
ZJ-600 | 5*102 | 3.75*10-4 | 600 | 4*103 | 30 | 200 | 160 | 7.5 | 2x-70 2x-30 ZJ-150 | 30 |
ZJ-1200 | 5*10-2 | 3.75*10-4 | 1200 | 3*103 | 25 | 250 | 200 | 11 | ZJ-150 2x-70 ZJ-300 2x-30 | 35 |