电子超纯水一般工艺流程：　
（水质符合美国ASTM标准，电子部超纯水水质标准（18MΩ＊cm，15MΩ＊cm，2MΩ＊cm和0.5MΩ＊cm四级）　

预处理－反渗透－水箱－阳床－阴床－混合床－纯化水箱－纯水泵－紫外线杀菌器－精制混床－精密过滤器－用水对象　

预处理－一级反渗透－加药机（PH调节）－中间水箱－第二级反渗透（正电荷反渗膜）－纯化水箱－纯水泵－紫外线杀菌器－0.2或0.5μm精密过滤器－用水对象　

预处理－二级反渗透－中间水箱－水泵－EDI装置－纯化水箱－纯水泵－紫外线杀菌器－0.2或0.5μm精密过滤器－用水对象　

预处理－二级反渗透－中间水箱－水泵－EDI装置－纯化水箱－纯水泵－紫外线杀菌器－精制混床－0.2或0.5μm精密过滤器－用水对象　

应用场合　
·　半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路；　
·　超纯材料和超纯化学试剂；　
·　实验室和中试车间　
·　汽车、家电表面抛光处理；　
·　其他高科技精微产品。