美国MKS INSTRUMENTS成立于1961年，作为半导体零部件的供应商，在气体、真空仪器及制程控制应用等方面有技术独到之处，美国MKS INSTRUMENTS产品起源于压力测量和控制核心技术，延伸到材料递送、气体成分分析、静电荷控制、工艺控制、信息管理、电源和反应气体发生器及真空技术，其产品广泛地应用于各种半导体生产设备和制造过程中。
主要产品：MKS流量计,MKS薄膜真空计,MKS传感器,MKS开关,MKS压力传感器,MKS真空硅,MKS发生器,MKSMKS氟离子/臭氧反应气体发生器


相关系列与型号介绍：621,622A,623A,627B,629B,722A,722B,631C,628,690A,626A,626B,722A,722B,901,912,910,M10B,
AX7690,AX3060,AX7610,AX2500,AX2600,AX7670,AX7680,AX7685,AX7645……

压力测量及控制
薄膜电容式高精度压力传感器（温度控制在45℃）

690A系列
690A.1TRC 690A.1TRCB 690A.1TRCA 690A01TRC 690A01TRB 690A01TRA 690A11TRC 690A11TRB 690A11TRA 690A12TRC 690A12TRB 690A12TRA 690A13TRC 690A13TRB 690A13TRA 690A53TRC 690A53TRB 690A53TRA 690A14TRC 690A14TRB 690A14TRA 690ARBTRC 690ARBTRB 690ARBTRA 690A24TRC 690A24TRB 690A24TRA 690ARCTRC 690ARCTRB 690ARCTRA

590A系列
590A.1TRC 590A.1TRCB 590A.1TRCA 590A 01TRC 590A 01TRB 590A 01TRA 590A 11TRC 590A11TRB 590A11TRA 590A12TRC 590A12TRB 590A12TRA 590A13TRC 590A13TRB 590A13TRA 590A53TRC 590A53TRB 590A53TRA 590A14TRC 590A14TRB 590A14TRA 590ARBTRC 590ARBTRB 590ARBTRA 590A24TRC 590A24TRB 590A24TRA 590ARCTRC 590ARCTRB 590ARCTRA

698A系列
698A.1TRC 698A.1TRCB 698A.1TRCA 698A.1TRCE 698A.1TRCD 698A 01TRC 698A 01TRB 698A 01TRA 698A 01TRE 698A 01TRD 698A 11TRC 698A11TRB 698A11TRA 698A11TRE  698A11TRD 698A12TRC 698A12TRB 698A12TRA 698A12TRE 698A12TRD 698A13TRC 698A13TRB 698A13TRA 698A13TRE

698A13TRD
薄膜电容式高精度压力传感器（温度控制在15-200℃）

615A系列
615A.1TRC 615A.1TRCE 615A01TRC 615A01TRE 615A11TRC 615A11TRE 615A12TRC 615A12TRE 615A13TRC 615A13TRE 615A53TRC 615A53TRE 615A14TRC 615A14TRE 615ARBTRC 615ARBTRE 615A24TRC 615A24TRE 615ARCTRC 615ARCTRE

616A系列
616A.1TRC 616A.1TRCE 616A01TRC 616A01TRE 616A11TRC 616A11TRE 616A12TRC 616A12TRE 616A13TRC 616A13TRE 616A53TRC 616A53TRE 616A14TRC 616A14TRE 616ARBTRC 616ARBTRE 616A24TRC 616A24TRE 616ARCTRC 616ARCTRE

薄膜电容式压力传感器（工作在室温）

622B
622B01TAE 622B01TAD 622B01TAF 622B01TBE 622B01TBD 622B01TBF 622B01TCE 622B01TCD 622B01TCF 622B01TDE 622B01TDD 622B01TDF 622B01TEE 622B01TED 622B01TEF 622B01TQE 622B01TQD 622B01TQF 622B02TAE 622B02TAD 622B02TAF 622B02TBE 622B02TBD 622B02TBF 622B02TCE
623B系列
623B11TAE 623B11TAD 623B11TAF 623B11TBE 623B11TBD 623B11TBF 623B11TCE 623B11TCD 623B11TCF 623B11TDE 623B11TDD 623B11TDF 623B11TEE 623B11TED 623B11TEF 623B11TQE 623B11TQD 623B11TQF 623B21TAE 623B21TAD
626B系列
626B.1TAE 626B.1TAD 626B.1TAF 626B.1TBE 626B.1TBD 626B.1TBF 626B.1TCE 626B.1TCD 626B.1TCF 626B.1TDE 626B.1TDD 626B.1TDF 626B.1TEE 626B.1TED 626B.1TEF 626B.1TQE 626B.1TQD 626B.1TQF 626BRETAE 626BRETAD 626BRETAF 626BRETBE 626BRETBD 626BRETBF 626BRETCE 626BRETCD 626BRETCF 626BRETDE 626BRETDD 626BRETDF 626BRETEE 626BRETED 626BRETEF 626BRETQE 626BRETQD 722B系列
722B01TCD2FA 722B01TCD2FC 722B01TCD2FD 722B01TCD2FJ 722B01TCD2FK 722B01TCD3FA 722B11TBA2FC 722B11TBA2FD 722B11TBA2FJ 722B11TCE3FK 722B11THA2FA 722B11THA2FC 722B11THA2FD 722B11THA2FJ 722B11THA2FK
薄膜电容式压力传感器（温度控制在45℃）
627D系列
627D01TAC1B 627D01TAC1P 627D01TAC2B 627D01TAC2P 627D01TAD1B 627D01TAD1P 627D01TAD2B 627D01TAD2P 627D01TAE1B 627D01TAE1P 627D01TAE2B 627D01TAE2P 627D01TDE1B 627D01TDE1P 627D01TDE2B 627D01TDE2P
627D11TAC1B 627D11TAC1P 627D11TAC2B 627D11TAC2P  627D11TCD1B 627D11TCD1P 627D11TCD2B 627D11TCD2P 627D11TCE1B 627D11TCE1P 627D11TCE2B 627D11TCE2P 627D11TDC1B 627D11TDC1P 627D11TDC2B 627D01TDC2P 627D11TDD1B 627D11TDD1P 627D11TDD2B 627D11TDD2P 627D11TDE1B 627D11TDE1P 627D11TDE2B 627D11TDE2P 627D13TAC1B 627D13TAC1P 627D13TAC2B 627D13TAC2P 627D13TAD1B 627D13TAD1P 627D13TAD2B 627D13TAD2P 627D13TAE1B 627D13TAE1P 627D13TAE2B 627D13TAE2P 627D13TBC1B 627D13TBC1P 627D13TBC2B 627D13TBC2P