Adixen 磁悬浮涡轮分子泵

Adixen 磁悬浮涡轮分子泵Adixen 磁悬浮涡轮分子泵

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2015-07-05 00:55:17
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延友仪器（上海）有限公司

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产品简介

阿迪克森磁悬浮涡轮分子泵
五大防腐特性
自动平衡系统
嵌入式75加热系统
5轴控制
惰性气体吹扫
逆向动力密封(适用于ATH400与ATH1300型)
高流量应用
紧凑而现代的设计

详细介绍

磁悬浮涡轮分子泵
ATH-M 系列
阿迪克森磁悬浮涡轮分子泵
五大防腐特性
  • 自动平衡系统
  • 嵌入式75加热系统
  • 5轴控制
  • 惰性气体吹扫
  • 逆向动力密封（适用于ATH400与ATH1300型）
高流量应用     
      ATH 400 M, ATH 1300 M,ATH 1600 M ATH2300 and ATH 2800 MT型是专为高压、高流量的半导体工业以及其他薄镀膜工艺而设计。
紧凑而现代的设计
  • 可调节转速以优化抽气时的参数
  • 高平均*时间
  • 使用成本低
  • 低噪音低振动
  • 无需电池
应用
  • 玻璃镀膜
  • 微处理系统加工
  • 离子束矫正
  • 电子显微镜
  • 空间模拟腔
  • 粒子加速器
  • 半导体工艺（刻蚀, CVD, 离子插入）
  • 镀膜与薄镀膜工艺
  • 离子铣
  • 以及许多研发实验


 

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